3月29日，2023深圳国际传感器与应用技术展览会(Sensor Shenzhen)在深圳开幕。上海交大-平湖智能光电研究院参与了本次展会，介绍了其光电子封测业务，展出了孵化的企业泰传仪器的高端设备，包括多通道电源、时间间隔测量仪等。展会期间，研究院业务经理李乐佳接受了天极网及相关媒体的采访。

  研究院介绍

  上海交大-平湖智能光电研究院，2019年3月由上海交通大学和浙江省平湖市人民政府和共同发起建立，旨在深入实施创新驱动发展战略，推动产学研。研究院目前有多版块业务开展，最重要的是封测业务，包括光电子芯片、器件的封装、测试，还有后道的失效分析。研究院还有一个人才高地的职能，去年获得了浙江省中级人才自主认定的能力。研究院还对一些创新创业的项目在平台进行孵化。

  据李乐佳介绍，研究院团队现有50人左右，其中国家级人才4人、省级人才2人，引入教授级别人才24人，博士级别人才18人。去年还引入了毛军发院士工作站，进一步助推产学研融合。交大团队也经常来共同交流、研发。

 2023深圳国际传感器与应用技术展览会

  光电封测业务

  研究院的封测平台是共享科研服务平台，承担各类光电科研项目的封装测试分析任务，对相关光电行业和研究机构开展封装测试服务和科研合作。封测平台净化间面积约600平米，仪器设备资产约6000万元，包含光电封装、形貌测试、高频测试、光传输系统测试、失效分析等。平台开发集成光电子芯片标准化封装(光学、电学、机械、热)工艺技术，建成集成光电子芯片封装能力，提供小批量光电封装服务;开发集成光电子芯片自动测试技术，建立集成光电子芯片标准化测试流程、测试标准，提供小批量光电子芯片测试服务。

  李乐佳介绍，封测业务是光电子的集成封装，比如单模光纤阵列封装、射频封装、2.5D/3D的堆叠封装，包括一些异质集成。现在整个平台服务的不光是光通讯，激光雷达方面也慢慢有涉猎，还有一些其他材质的光电芯片。

 2023深圳国际传感器与应用技术展览会，上海交大-平湖智能光电研究院展区

  小批量、定制化、个性化

  李乐佳介绍，研究院主要针对小批量、定制化、个性化的封测。很多大厂做成熟的量产化产品，但是研究院做的个性化、定制化是面向于高校科研院所，包括头部企业进行新产品的研发。他们送过来的芯片大多是一片两片，单颗的价格就会很高，而且他们需要的是些较复杂的定制化工艺和指标。研究院建立的初衷一是为了做一些高端芯片的设计和工艺的开发，另一方面也是为了促进研究成果的落地，帮忙一些院校企业真正实现产业化。从今年开始，研究院已经收到了一些批量化订单的需求了。

  光电封装工艺、测试能力并不是所有的企业都会配备，术业有专攻，研究院在擅长的领域积累了丰富的经验，能为高校、科研院所和企业提供较为成熟和稳定的解决方案。目前，研究院已与清华大学、北京大学、东南大学、上海新微技术工业研究院、中科院半导体所等100余家双一流高校及知名企业建立合作关系。

 硅光晶圆测试

  为光电企业解决难题

  大部分的光电新兴企业主业是在设计，封测要寻找专业成熟的封装测试平台进行验证。研究院是做硅光集成的封装测试，起步较早，经验丰富，提供一站式解决方案，为企业攻克了不少难题，比如不同的封装材料、工艺和形式，都会影响到整个器件的最终良率。

  李乐佳透露，研究院目前有一台晶圆级测试的设备。晶圆级测试很多是电测试，但是研究院这台可以做光测试。中国大约只有两到三家有这台设备，能真正把它运作起来的还比较少。这台设备基本上十几秒就能测试完成一个器件，非常快。晶圆级测试只要调试好，可以实现24小时运作，一天万级的器件数量。机台是12寸的，全面满足客户各尺寸的晶圆测试需求。

  封测是整个环节的相辅相成。一些高频的测试能力，能够使客户的一些高端芯片的封装边封边验证，大大提高整个环节的质量与效率。一些大型高端的设备，并不是每家企业都有需要去配备，有一些设备被美国限制出口。比如芯片器件的形貌测试、高频测试、光传输系统测试、失效分析等一系列服务，涉及到67G的网分，高精度的FIB-SEM 双束显微镜、3DX-ray无损扫描等。这些高端设备能很好地为科研端产品服务。

 上海交大-平湖智能光电研究院 李乐佳 业务经理

  高校成果转化

  研究院有一个比较经典的案例，就是嘉兴泰传光电。它是交大另一个团队落地到研究院平台孵化出来的一个企业。泰传光电做的是一个时频传递领域内的设备，以上海交大自主研发的光纤时间传递技术为基础，重点研发高精度时间同步设备，包括PTP时间服务器，时间间隔测量仪等。目前主要的客户有中国联通、国家授时中心等。

  这次传感器展会上，有展出泰传仪器的设备，有多通道电源、时间间隔测量仪。泰传设备的主要应用在尖端领域，在一些国家通信、国防军工、导弹系统上会用到。泰传的设备已经能够完整地替代，甚至超过美国一些仪器设备的速率了。

  上海交大-平湖智能光电研究院在周林杰院长(现任上海交通大学光通信网络与新型光通信系统国家重点实验室教授)的带领下，承担了一系列国家级科研项目，解决了芯片设计、加工和封测中的众多基础理论与技术难题，研究成果为推进光学系统的高速、低功耗和小型化发展做出了重要贡献。研究院努力通过自身的号召力，引入更多光电企业，助力平湖打造光电产业集群。